特許

J-GLOBAL ID：200903073433268302

単結晶材料の結晶格子面測定装置

発明者： 町谷 芳郎
出願人/特許権者： 理学電機株式会社
代理人 (1件)： 横川 邦明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-040499
公開番号（公開出願番号）：特開平6-229953
出願日： 1993年02月04日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：

【要約】【目的】 結晶格子面が異なる複数の単結晶材料に関してX線測定を行う場合でも、X線光学系の配置替えを行う必要がなく、従って、安定した精度の測定をきわめて短時間で行うことができるようにする。【構成】 X線源3から出たX線を2個のスリット16a,16bによって分割して2個の第1結晶15a,15bのそれぞれに照射する。それらの第1結晶で回折したX線はシリコンインゴット13のオリフラ面2の同一点Pに入射する。オリフラ面2をω回転させたとき、入射X線のうちオリフラ面2の結晶格子面との間で回折条件を満足するものだけが回折してX線カウンタ5a又は5bのうちのいずれかによって検出される。オリフラ面2の結晶格子面のミラー指数が変化すると、X線カウンタ5a又は5bのうちの他方のX線カウンタによって回折X線が検出される。

請求項（抜粋）：

単結晶材料にX線を照射し、その単結晶材料内の結晶格子面で回折した回折X線を検出する結晶格子面測定装置において、X線を発生するX線源と、ミラー指数の異なる結晶格子面を有する複数の第1結晶と、それら複数の第1結晶のそれぞれに対応して設けられていて、X線源から出たX線を対応する個々の第1結晶へ導く複数のスリットと、個々の第1結晶のそれぞれに対応して配設されていて、個々の第1結晶で回折し、さらに単結晶材料で回折した回折X線を検出できる位置に配設されたX線取込み口径の小さい複数のX線検出手段と、単結晶材料をω回転させるω回転手段とを有することを特徴とする単結晶材料の結晶格子面測定装置。

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭48-003891
  
• 特開昭49-076570
  
• 特開平3-255948
  

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-158530
  
• 特開平4-361833