特許

J-GLOBAL ID：200903073441076935

エキシマレーザ装置

発明者： 若林 理 ,  天田 芳穂
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 橋爪 良彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-352806
公開番号（公開出願番号）：特開平5-167136
出願日： 1991年12月16日
公開日（公表日）： 1993年07月02日
要約：

【要約】【目的】 エキシマレーザ装置に係わり、特には、縮小投影露光装置用の光源として用いられるエキシマレーザ装置の改良に関する。【構成】 レーザの共振器として使用されている光学素子および出力レーザ光の検出器に使用されている光学素子を囲う筺体手段と、清浄気体で前記筺体内をパージするパージ手段を備えている。また、前記筺体および各種光学素子のホルダの材質としてアルミニウムを用い、表面処理として有機の無色素の白アルマイト処理している。

請求項（抜粋）：

レーザの共振器として使用されている光学素子および出力レーザ光の検出器に使用されている光学素子を囲う筺体手段と、清浄気体で前記筺体内をパージするパージ手段を備えたことを特徴とするエキシマレーザ装置。

IPC (3件)：

H01S 3/034 ,  H01L 21/027 ,  H01S 3/08

FI (3件)：

H01S 3/03 G ,  H01L 21/30 311 L ,  H01S 3/08 Z

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平2-187085