特許

J-GLOBAL ID：200903073446778997

密着露光方法および装置

発明者： 岡田 将一
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
代理人 (1件)： 長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-216979
公開番号（公開出願番号）：特開平8-083749
出願日： 1994年09月12日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：

【要約】【目的】 裏面ブロー時におけるマスクとワークの位置ずれを防止でき、機構が簡単でメンテナンスの容易な密着露光方法および装置を提供すること。【構成】 マスク固定部1にマスクMを載せ、マスク固定部1に固定する。また、ワーク固定用真空管路5、ワーク固定用サブ真空管路10より排気してワークWをワーク固定部2に固定する。次に上下機構3によりワーク固定部2を上昇させ、ワークWをマスクMに接触させ両者を平行にする。ついで、ワーク固定用真空管路5からの排気を停止し、裏面ブロー用管路9より気体を放出し、マスクMとワークWを密着させる。その後、裏面ブロー用管路9の流量、圧力を調整しながら、ワーク固定用サブ真空管路10からの排気を軽減、停止、もしくは、管路10から気体を放出して、マスクMとワークWの密着力を所望の値まで高めたのち、マスクMの上から露光光を照射して、露光を行う。

請求項（抜粋）：

ワーク固定部にワークを固定するとともに、マスクを上記ワーク固定部の上方に位置するマスク固定部に固定し、マスク固定部もしくはワーク固定部を移動させてマスクとワークを平行状態にして両者を密着させ、マスク上から露光光を照射してワーク上にマスクパターンを露光する密着露光方法において、ワーク固定部に少なくとも2系統以上の管路を設け、2系統以上の管路の内の少なくとも1系統の管路端をワークの端部に配置し、上記管路を排気してワークをワーク固定部に固定し、ワークとマスクの密着時に、上記2系統の管路の内の1系統の排気を停止して気体を放出することにより、ワークとマスクを密着させることを特徴とする密着露光方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/20 ,  G03F 7/20 521