酸分解性化合物及びそれを含有するポジ型感放射線性レジスト組成物

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-031259
公開番号（公開出願番号）：特開平5-249681
出願日： 1992年01月23日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：

【要約】【構成】式(1)【化1】(式中Rは水素あるいはメチル基を示す。)で示される酸分解性化合物、アルカリ可溶性樹脂及び放射線に感応し酸を発生する化合物を含有するポジ型感放射線性レジスト組成物。【効果】本発明の化合物は酸により分解する性質を示し、これを含有するポジ型感放射線性レジスト組成物は放射線に対する感度が高く、基板に転写されたパターンは膨潤がなく解像度が極めて優れ、さらにドライエッチング耐性及び耐熱性に極めて優れているので半導体集積回路の製造に有用である。

請求項（抜粋）：

式(1)【化1】(式(1)中Rは水素あるいはメチル基を示す。)で示される化合物

IPC (8件)：

G03F 7/039 501 , C08K 5/10 KAS , C08L101/00 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/029 , H01L 21/027 , C07C 69/96

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