特許
J-GLOBAL ID：200903073455541860
走査型プローブ顕微鏡及びそれを用いた分子加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-063121
公開番号（公開出願番号）：特開平5-093623
出願日： 1992年03月19日
公開日（公表日）： 1993年04月16日
要約：
【要約】【目的】 物質表面の構造を、分子レベルや原子集団のレベルで直接調べたり加工する走査型プローブ顕微鏡およびそれによる分子加工法を提供する。【構成】 原子間力顕微鏡の探針1に分子や原子集団2を固定して、この探針1を、試料物質3の表面に接近もしくは接触させるかして原子レベルの精度で走査する。この時、探針1に固定された分子や原子集団2と物質表面の分子や原子集団9との間で特異的に強い相互作用もしくは化学反応が生じる。この時に生じる物理量を検出しながら物質表面の構造を、分子レベルや原子集団のレベルで直接調べたり、加工する。
請求項（抜粋）：
探針を物質表面に接近もしくは接触させて原子レベルの精度で走査し、前記物質表面と前記探針との間で生じる物理量を検出する走査型プローブ顕微鏡であって、前記探針にセンサーとなる分子または原子集団が固定されており、前記物理量が前記探針を前記物質表面に接近もしくは接触させて原子レベルの精度で走査した場合に、前記センサーとなる分子または原子集団と前記物質表面が相互作用もしくは化学反応をする時に生ずる物理量であることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, H01J 37/28
, H01J 37/30
