高脆性材の両面研削装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：河内潤二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-095895
公開番号（公開出願番号）：特開平9-262747
出願日： 1996年03月27日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：

【要約】【課題】半導体ウエハに代表される高脆性材を材質とする円板状の被加工物表面の両面同時研削において、加工中の被加工物が安定して支持されるための機工を設け、これにより平面度の高い両面研削加工が行われるような高脆性材の両面研削装置を提供する。【解決手段】被加工物の上下両面に対向して設けられた上下一対の静圧パットからなる静圧保持部材を円環状研削工具の半径方向の内側及び外側の2箇所に設ける。各静圧パットの被加工物の表面に対向した面には複数個の静圧ポケットを設け、各静圧ポケットの内部には被加工物を静圧保持させるためのクーラントを吐出する吐出口を設ける。さらに上下各静圧パットはそれぞれ上下各砥石に連動して動作するようにする。これにより加工中の被加工物が2個の円環状研削工具より受ける切削荷重にアンバランスが生じた場合でも、被加工物は静圧保持部材により加工中も安定して支持される。

請求項（抜粋）：

高脆性材を材質とする円板状の被加工物の上下両面に対向して設けられた一対の円環状研削工具により被加工物の両面を同時に研削加工する両面研削装置において、前記被加工物の上下両面に対向して設けられた上下一対の静圧パットからなる静圧保持部材により加工中の被加工物を支持するようにしたことを特徴とする高脆性材の両面研削装置。

IPC (2件)：

B24B 7/17 , H01L 21/304 321

FI (2件)：

B24B 7/17 Z , H01L 21/304 321 E

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭52-090881
研摩方法とその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-005500 出願人：日本板硝子株式会社
特開平4-041167

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