特許
J-GLOBAL ID：200903073461832108

位置検出装置及びブレ補正装置

発明者：
松本 豪

松本 豪 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 鎌田 久男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-037794
公開番号（公開出願番号）：特開2004-245765
出願日： 2003年02月17日
公開日（公表日）： 2004年09月02日
要約：
【課題】精度が低下することなく正しい位置検出を行うことができ、位置不明となることもなく、小型の位置検出装置及びブレ補正装置を提供する。【解決手段】磁気検出素子13が磁石11,12の表面の法線方向の磁場の検出を行うことにより位置検出を行う位置検出装置において、磁気検出素子13が検出する磁場の出力特性が略直線となる範囲S内に設けられ、磁気検出素子13の相対的な移動範囲を制御上制限するソフトリミットと、磁気検出素子13の出力特性の傾きが、略直線となる範囲内の傾きと同方向となる範囲H内に設けられ、磁気検出素子13の相対的な移動範囲を物理的に制限するハードリミットとを備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
N極の磁石と、 前記N極の磁石の近傍に並んで配置されたS極の磁石と、 前記N極の磁石と前記S極の磁石とが並ぶ方向に相対的に移動可能であって磁気を検出する磁気検出素子と、 を備え、 前記磁気検出素子が磁石の表面の法線方向の磁場の検出を行うことにより位置検出を行う位置検出装置において、 前記磁気検出素子が検出する磁場の出力特性の傾きが略直線となる範囲内に設けられ、前記磁気検出素子の相対的な移動範囲を制御上制限するソフトリミットと、 前記ソフトリミットよりも外側であって、前記出力特性の傾きが反転しない範囲に設けられ、前記磁気検出素子の相対的な移動範囲を物理的に制限するハードリミットと、 を備えたことを特徴とする位置検出装置。
IPC (3件)：
G01B7/00 ,  G01D5/18 ,  G03B5/00
FI (3件)：
G01B7/00 N ,  G01D5/18 L ,  G03B5/00 J
Fターム (14件)：
2F063AA03 ,  2F063BA25 ,  2F063BD15 ,  2F063CA09 ,  2F063CA34 ,  2F063DA05 ,  2F063DD03 ,  2F063GA52 ,  2F063GA73 ,  2F077AA18 ,  2F077JJ08 ,  2F077JJ09 ,  2F077JJ20 ,  2F077VV02
引用特許：
審査官引用 (14件)
  • 特開昭59-088602
  • 特開昭59-088602
  • 位置検出装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-298047   出願人：キヤノン株式会社
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