特許
J-GLOBAL ID：200903073465102392
レーザーマスクリペア装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西脇 民雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-003206
公開番号（公開出願番号）：特開平5-185264
出願日： 1992年01月10日
公開日（公表日）： 1993年07月27日
要約：
【要約】【目的】特殊な軸上色収差補正がなされた高価なレンズを用いることなく軸上色収差を補正できるレーザーマスクリペア装置を提供すること。【構成】1つの絞り15を通過した異なる波長の照準光とレーザー光とを第1波長分離ミラー27で分離して、この分離した照準光とレーザー光をレーザー照射光学系10,照準光学系20の光路長が補正された各光路を介してそれぞれ案内した後に、この照準光とレーザー光を第2波長合成ミラー18で合成して1つの対物レンズ19からリペア対象面2aに投影するようにした。
請求項（抜粋）：
リペア用レーザー光を発生するレーザー光源と、上記リペア用レーザー光の波長とは異なる波長の照準のための照準光を発する照準用光源部と、上記レーザー光源部からのリペア用レーザー光と上記照準光を同じ光軸上に向わせる第1合成光学部材と、該第1合成光学部材からのリペア用レーザー光及び照準光の光束を制限する光学系の共役点に配置された絞り部と、上記絞り部を通過したリペア用レーザー光及び照準光をリペア用レーザー光光路及び照準光光路にそれぞれに分離する光束分離部と、平行光束を射出する様に上記リペア用レーザー光光路に配置された第1結像レンズと、平行光束を射出する様に上記照準光光路中に配置された第2結像レンズと、上記光束分離部で分離されたリペア用レーザー光光路と照準光光路とを再び合成する第2合成光学部材と、上記第2合成光学部材からの光束を共役点であるリペア対象物に結像させる対物レンズ部とから構成されることを特徴とするレーザーマスクリペア装置。
IPC (5件)：
B23K 26/06
, B23K 26/04
, G03F 1/08
, H01S 3/02
, H01S 3/10
