特許
J-GLOBAL ID：200903073468786993
引上装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
桑井 清一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-114112
公開番号（公開出願番号）：特開平5-286793
出願日： 1992年04月07日
公開日（公表日）： 1993年11月02日
要約：
【要約】【目的】 水冷ジャケットを用いることなく、引き上げ中のシリコン単結晶棒の温度を調節することができる引上装置を提供する。【構成】 シリコン単結晶棒9を外気から遮蔽するチャンバ2を設ける。このチャンバ2内でシリコン融液4を保持する石英坩堝3を設ける。シリコン融液4を加熱するヒータ5を設ける。シリコン融液4からシリコン単結晶棒9を引き上げる引上機構を設ける。引き上げられるシリコン単結晶棒9の周囲に、ホットゾーンを画成する吸熱筒10を設ける。この吸熱筒10を、上記ホットゾーンに露出したカーボン製の高吸熱体12と、チャンバ2の内壁に対向するカーボン製の高放熱体13と、これらの間のモリブデン製の円筒状高熱伝達体11と、で構成している。
請求項（抜粋）：
外気を遮蔽するチャンバと、このチャンバ内で結晶融液を保持する坩堝と、上記結晶融液を加熱するヒータと、上記結晶融液から結晶棒を引き上げる引上機構と、を備えた引上装置において、上記結晶棒の周囲に所定のホットゾーンを画成する吸熱筒を設けるとともに、この吸熱筒を、上記ホットゾーンに露出した高吸熱部と、上記チャンバの内壁に対向する高放熱部と、これらの間の高熱伝達部と、で構成したことを特徴とする引上装置。
IPC (2件)：
C30B 15/00
, C30B 29/06 502
