特許

J-GLOBAL ID：200903073470104298

検査装置

発明者： 大山 洋一郎 ,  山田 義行
出願人/特許権者： 日本エレクトロセンサリデバイス株式会社 ,  株式会社大日本科研
代理人 (1件)： 後藤 政喜 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-172135
公開番号（公開出願番号）：特開平11-023239
出願日： 1997年06月27日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【課題】 ボールグリッドアレイを短時間で効率的に検査する装置を提供する。【解決手段】 検査装置1に、ハンダボール6が配置されたワーク(半導体チップ等)2を水平に保持してX軸方向に移動させるステージ3と、このワーク2(ステージ3)のX座標を計測する位置計測装置5と、ワーク2の進行方向の後方と前方それぞれからワーク2に所定の角度でY軸方向に広がった平行光線を入射する照射部10A、10Bと、これらの照射部10A、10Bからの平行光線がハンダボール6の頂点で反射した反射光線の方向が光軸24A、24Bと一致するように受光部20A、20Bとを備え、これらの受光部20A、20Bの光軸24A、24B上に、Y軸方向に整列した受光素子であるラインセンサ23A、23Bを設けた。

請求項（抜粋）：

複数のハンダボールが配置されたワークをこのハンダボールの配置面を水平に保ちつつ所定の方向に移動させる移動手段と、この移動手段により移動するワークの位置を計測する位置計測手段と、このワークの移動方向と直交する方向に広がった平行光線を前記ワークのハンダボールの配置面に前記ワークの進行方向の後方から所定の角度で入射させる第1の照射部と、この第1の照射部からの平行光線が水平面で反射されたときの反射光線の方向に光軸を一致させて設けられるとともにこの光軸上に前記ワークの移動方向と直交する方向に並んで配列された複数の受光素子を備えた第1の受光部と、前記ワークの移動方向と直交する方向に広がるとともに所定の幅に狭められた平行光線を前記ワークのハンダボールの配置面に前記ワークの進行方向の前方から所定の角度で入射させる第2の照射部と、この第2の照射部からの平行光線が水平面で反射されたときの反射光線の方向に光軸を一致させて設けられるとともにこの光軸上に前記ワークの移動方向と直交する方向に並んで配列された複数の受光素子を備えた第2の受光部と、を備えたことを特徴とする検査装置。