特許
J-GLOBAL ID：200903073470580480
ボンディング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
羽切 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-246983
公開番号（公開出願番号）：特開2002-064120
出願日： 2000年08月16日
公開日（公表日）： 2002年02月28日
要約：
【要約】【課題】 高倍率のレンズを使用したボンディング装置での被ボンディング部品の定点のずれ量の検出で、被ボンディング部品の定点がカメラの撮像範囲外であっても、高精度で短時間でずれ量の検出を行うこと。【解決手段】 被ボンディング部品の検出すべき定点の近傍の複数の画像をマップ画像情報として登録して、このマップ画像情報を用いて被ボンディング部品の位置の検出を行い、検出した位置に基づいて撮像手段を移動して被ボンディング部品の定点の検出を行い、ICチップ6等の定点がカメラの撮像範囲外に位置していても高速に位置検出を行うことができる。また、基準点からの被ボンディング部品の定点のずれ量を順次記憶して、前記ずれ量の平均値を演算して、前記基準点に演算したずれ量の平均値を減算して位置を算出して、算出した位置にカメラを移動し、被ボンディング部品の定点のずれ量を検出する。
請求項（抜粋）：
被ボンディング部品に対してボンディングを行うボンディング手段と、前記ボンディング手段を前記被ボンディング部品に対して二次元的に相対移動させて位置決めを行う位置決め手段と、前記位置決め手段に搭載された前記被ボンディング部品を撮像する撮像手段と、前記撮像手段からの撮像信号を受けて前記被ボンディング部品の定点のずれ量を検出する画像認識手段とからなるボンディング装置であって、前記画像認識手段は、前記位置決め手段に前もって教示した位置での前記撮像手段からの前記撮像信号を画像データとして記憶装置に記憶する記憶手段と、前記位置決め手段の基準点の位置における前記撮像手段からの前記撮像信号より指定範囲の画像データをテンプレートとして切り出す画像切り出し手段とを備え、前記画像切り出し手段で切り出された前記テンプレートと前記画像認識手段の前記記憶手段に記憶した前記画像データとのパターンマッチングを行い、前記位置決め手段の基準点からの前記被ボンディング部品の定点のずれ量を検出してなることを特徴とするボンディング装置。
Fターム (3件)：
5F044DD01
, 5F044DD02
, 5F044DD13
