特許

J-GLOBAL ID：200903073474449052

微粒子検出方法および装置

発明者： 平得 貞雄 ,  佐藤 雅伸
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 五十嵐 孝雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-352002
公開番号（公開出願番号）：特開平10-170453
出願日： 1996年12月10日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】 基板の表面に付着している微粒子を容易に測定する。【解決手段】 蛍光物質の微粒子を基板の表面上に付着させ、前記基板の表面に光を照射し、前記基板の表面に存在する微粒子から出射される蛍光を検出する。そして、検出された蛍光に応じて、前記基板の表面に存在する微粒子に関連する量を測定する。

請求項（抜粋）：

基板の表面上に存在する微粒子を検出する微粒子検出方法であって、(a)蛍光物質の微粒子を基板の表面上に付着させる工程と、(b)前記基板の表面に光を照射する工程と、(c)前記基板の表面に存在する微粒子から出射される蛍光を検出し、検出された蛍光に応じて、前記基板の表面に存在する微粒子に関連する量を測定する工程と、を備えることを特徴とする微粒子検出方法。

IPC (3件)：

G01N 21/91 ,  G01N 21/64 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01N 21/91 Z ,  G01N 21/64 Z ,  H01L 21/66 J