特許
J-GLOBAL ID：200903073475252600
フィルタ、フィルタ装置及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
片山 修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-263405
公開番号（公開出願番号）：特開2004-104449
出願日： 2002年09月09日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：
【課題】フィルタの通過帯域における挿入損失が低減されたフィルタ、フィルタ装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】複数の圧電薄膜共振器を有して構成されたラダー(梯子)型のバンドパスフィルタ1において、直列腕に配された2つの直列共振器110間を接続する配線部分11の幅を直列共振器110の幅よりも広く設計する。これにより、接続部分の抵抗が低減される。また、各共振器(110,120,130)をできるだけ接近させた配置により接続部分11,12,13の長さを短くすることでも接続部分の抵抗が低減される。これにより、通過帯域における挿入損失が低減される。この他、例えば配線部分11の膜厚を積層又は成長により電極部分よりも厚く構成しても良い。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
空隙を有する基板と、該基板上に形成された第1電極膜と、該第1電極膜上に形成された圧電体膜と、該圧電体膜上に形成された第2電極膜と、を有する圧電薄膜共振器をラダー型に接続したフィルタにおいて、
少なくとも2つの前記圧電薄膜共振器を接続する配線の少なくとも一部の幅が、前記圧電薄膜共振器の幅よりも広いことを特徴とするフィルタ。
IPC (3件)：
H03H9/58
, H03H3/02
, H03H9/17
H03H9/58 A
, H03H3/02 C
, H03H9/17 F
