特許

J-GLOBAL ID：200903073478465524

原子間力顕微鏡

発明者： 中村 泰
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-036299
公開番号（公開出願番号）：特開平9-229949
出願日： 1996年02月23日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】試料表面の摩擦力測定や表面硬さ試験を高精度に行うことができる原子間力顕微鏡を提供する。【解決手段】一端を固定したバネ部材2に支持された探針1と、該探針1の変位を検出する変位センサとを有し、探針1で試料の表面を探査し、その表面を変位センサにより検出して、前記試料の表面状態を測定する原子間力顕微鏡において、原子間力顕微鏡の測定先端部に、探針1と前記試料の表面との接触角を調整する探針接触角調整機構3、4、5、6を設けた。

請求項（抜粋）：

一端を固定したバネ部材に支持された探針と、該探針の変位を検出する変位センサとを有し、前記探針で試料の表面を探査し、その表面を変位センサにより検出して、前記試料の表面状態を測定する原子間力顕微鏡において、原子間力顕微鏡の測定先端部に、前記探針と前記試料の表面との接触角を調整する探針接触角調整機構を設けたことを特徴とする原子間力顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28

FI (3件)：

G01N 37/00 F ,  G01B 21/30 Z ,  H01J 37/28 Z