特許

J-GLOBAL ID：200903073494071838

光学用合成石英ガラス成形体及びその製造方法

発明者： 藤ノ木 朗 ,  須釜 明彦 ,  片岡 正篤 ,  ウォルフガング イングリッシュ
出願人/特許権者： 信越石英株式会社 ,  ヘレウス クワルツグラス ゲーエムベーハー
代理人 (1件)： 武田 正彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-093990
公開番号（公開出願番号）：特開平7-267662
出願日： 1994年03月26日
公開日（公表日）： 1995年10月17日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 エキシマレーザー光用の高均質な光学用石英ガラス成型体及びその中間体の製造方法を提供する。【構成】 合成石英ガラス棒1を局部加熱して溶融帯域112を形成した後石英ガラス加工用施盤3の両チヤツク4,5に支持棒9,10を介して取り付け、4,5の相互の回転方向及び回転数を相違させ、独立に製御し、ガラス棒1の脈理2を除去し均質化する。ガラス棒1を更に加熱・軟化させながら徐々にチヤツク4,5の間隔を狭めて、ガラス棒1を押圧することによりボール状合成ガラスを形成する。ボール状ガラスを支持棒9,10より取り外した後、ボールの軸を90度回軸させて再度支持棒9,10を介してチヤツク4,5に取付けた後、支持棒9,10を回期回転しながらボール状ガラス全体をバーナーで加熱・軟化させてチヤツク4,5の間隔を拡げ第二の軸方向14に延伸して合成ガラス棒とする。

請求項（抜粋）：

両側に端面を有し、該端面間に、少なくとも一部が前記端面の輪郭より外方に突き出る形状の側面を有し、両端面を結ぶ方向の光学的均質性に対し、前記両端面を結ぶ方向に垂直な方向の光学的均質性が低いことを特徴とする高純度の合成石英ガラス塊状成形体。

IPC (4件)：

C03B 20/00 ,  C03B 23/00 ,  C03B 23/049 ,  G02B 1/02