特許

J-GLOBAL ID：200903073494106011

ワイヤーボンディング装置

発明者： 蔵藤 健二 ,  亀田 寛
出願人/特許権者： ローム株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-288959
公開番号（公開出願番号）：特開平7-142527
出願日： 1993年11月18日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【目的】 被ボンディング体に金属線をボンディングする際に、キャピラリーツールをツールホーンに一定した位置で取付ることにより、金属線の先端部に形成されるボール形状およびボンディング強度等の品質にバラツキのない安定したワイヤーボンディングが可能なワイヤーボンディング装置を提供するを目的とする。【構成】 本発明は、金属線を挿通したキャピラリーツールと、該キャピラリーツールを着脱自在に取着し、被ボンディング部に対して上下動が可能であるツールホーンと、該ツールホーンおよび/またはキャピラリーツールに設けた、前記ツールホーンに対する前記キャピラリーツールの前記上下動する方向の取着位置を矯正する位置矯正手段と、を備えてなるワイヤーボンディング装置である。

請求項（抜粋）：

金属線を挿通したキャピラリーツールと、該キャピラリーツールを着脱自在に取着し、被ボンディング部に対して上下動が可能であるツールホーンと、該ツールホーンおよび/またはキャピラリーツールに設けた、前記ツールホーンに対する前記キャピラリーツールの前記上下動する方向の取着位置を矯正する位置矯正手段と、を備えてなるワイヤーボンディング装置。