半導体ウェハープローバおよびそれを用いた半導体チップの電気的特性の測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口邦夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-247258
公開番号（公開出願番号）：特開2003-059987
出願日： 2001年08月16日
公開日（公表日）： 2003年02月28日
要約：

【要約】【課題】半導体ウェハーの生産性をそれほど低下させることなく、プローブのコンタクト抵抗の上昇による半導体チップの電気的特性の測定異常を未然に防止する。【解決手段】半導体ウェハープローバ100は、プローブ11が設けられたプローブカード12と、ステージ20と、研磨機構30と、コンタクト抵抗測定部50と、テスター60とから構成されている。これを用いて半導体チップの電気的特性を測定する場合、まず、コンタクト抵抗測定部50でプローブ11のコンタクト抵抗を測定し、コンタクト抵抗の管理値を決定し、次に、コンタクト抵抗の確認頻度を設定して、半導体チップの電気的特性の測定を行い、この測定の途中で設定された確認頻度でプローブ11のコンタクト抵抗を測定し、この測定値を管理値と比較して、測定値が管理値以上のとき、プローブを研磨し、測定値が管理値より小さいとき、半導体チップの電気的特性の測定を続ける。

請求項（抜粋）：

測定用プローブを半導体ウェハー上に形成された半導体チップの電極パッドに接触させ、該半導体チップの電気的特性を測定する半導体ウェハープローバであって、上記半導体ウェハーを保持する保持用ステージと、上記測定用プローブを有するプローブカードをセットするテストボードと、上記測定用プローブのコンタクト抵抗を測定するためのコンタクト抵抗測定用ウェハーを有するコンタクト抵抗測定部と、上記テストボードにケーブルを介して接続される、上記半導体チップの電気的特性および上記測定用プローブのコンタクト抵抗を測定するためのテスターと、上記半導体チップの電気的特性を測定する際には上記測定用プローブが上記半導体ウェハーの所定の半導体チップの電極パッドに接触するように上記保持用ステージを移動し、上記測定用プローブのコンタクト抵抗を測定する際には上記測定用プローブが上記コンタクト抵抗測定用ウェハーの表面に接触するように上記コンタクト抵抗測定部を移動する駆動手段とを備えることを特徴とする半導体ウェハープローバ。

IPC (3件)：

H01L 21/66 , G01R 1/073 , G01R 31/26

FI (3件)：

H01L 21/66 B , G01R 1/073 E , G01R 31/26 J

Fターム (22件)：

2G003AA07 , 2G003AA10 , 2G003AB01 , 2G003AF06 , 2G003AG04 , 2G003AG13 , 2G003AG16 , 2G003AG20 , 2G003AH04 , 2G003AH06 , 2G011AA02 , 2G011AA17 , 2G011AC06 , 2G011AC14 , 2G011AE03 , 4M106AA01 , 4M106BA01 , 4M106DD03 , 4M106DD18 , 4M106DH16 , 4M106DH57 , 4M106DJ03

前のページに戻る