特許
J-GLOBAL ID：200903073496350874
透過型電子顕微鏡の観察方法および保持治具
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-136754
公開番号（公開出願番号）：特開2000-329664
出願日： 1999年05月18日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：
【要約】【課題】 透過型電子顕微鏡によって磁性材料を観察する。【解決手段】 TEMの試料として磁性材料を用いるに当たり、FIB法によって磁性材料の試料1の体積を0.025mm3以下に加工する。前記体積の試料1の横幅は2mm以下となる。試料保持リング2は、横幅が2mm以下の試料1をリング2の中心部近傍に保持可能なリング幅2bを有する。試料1をリング2の中心部近傍に保持し、TEM観察を実施する。【効果】 試料1の観察領域以外の部分によるTEM磁界レンズの磁界の乱れが無く、TEM観察およびTEM-EDX分析の効率が大幅に向上する。
請求項（抜粋）：
透過型電子顕微鏡の観察方法において、前記観察される磁性材料は予めその体積が0.025mm3以下になるように加工され、しかる後、収束イオンビーム法により観察領域を薄片化加工されることを特徴とする透過型電子顕微鏡の磁界レンズの磁界の乱れの少ない透過型電子顕微鏡の観察方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 1/28 G
, G01N 1/32 B
, G01N 1/28 W
