フォトマスク保護用粘着テープ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：安富康男 , 諸田勝保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-136664
公開番号（公開出願番号）：特開2006-313282
出願日： 2005年05月09日
公開日（公表日）： 2006年11月16日
要約：

【課題】プリント配線板等を製造する際に使用するフォトマスクのフォトレジストに対向する面に対する高い粘着性を有する一方、粘着剤層上に積層した剥離材の剥離性に優れ、粘着剤層から剥離材を剥離した際にストップマークが発生することのないフォトマスク保護用粘着テープを提供する。【解決手段】透明基材、前記透明基材の片面に形成された粘着剤層、及び、前記粘着剤層の前記基材とは反対側の面を保護する保護フィルムとからなるフォトマスク保護用粘着テープであって、前記粘着剤層は、JIS Z0237に準拠して、剥離速度500mm/minの条件で測定したSUS板に対する粘着力が2〜5N/25mmであり、前記保護フィルムは、前記粘着剤層と接する側の面にヘキサデカンの接触角が25〜60°であるシリコーン系離型層を有するフォトマスク保護用粘着テープ。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

透明基材、前記透明基材の片面に形成された粘着剤層、及び、前記粘着剤層の前記基材とは反対側の面を保護する保護フィルムとからなるフォトマスク保護用粘着テープであって、前記粘着剤層は、JIS Z0237に準拠して、剥離速度500mm/minの条件で測定したSUS板に対する粘着力が2〜5N/25mmであり、前記保護フィルムは、前記粘着剤層と接する側の面にヘキサデカンの接触角が25〜60°であるシリコーン系離型層を有することを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープ。

IPC (3件)：

G03F 1/14 , C09J 7/02 , H01L 21/027

FI (3件)：

G03F1/14 E , C09J7/02 Z , H01L21/30 502P

Fターム (14件)：

2H095BA11 , 2H095BB29 , 2H095BC19 , 4J004AA02 , 4J004AA10 , 4J004CA03 , 4J004CA04 , 4J004CA05 , 4J004CA06 , 4J004CC02 , 4J004CC03 , 4J004EA01 , 4J004FA04 , 4J004FA05

引用特許：

出願人引用 (1件)

光拡散性粘着剤組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-044669 出願人：株式会社きもと

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