特許
J-GLOBAL ID:200903073505380420
カラーフィルタ及びパターン形成方法、並びに液晶表示装置
発明者:
,
,
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
廣田 浩一
, 流 良広
, 松田 奈緒子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-256238
公開番号(公開出願番号):特開2007-071957
出願日: 2005年09月05日
公開日(公表日): 2007年03月22日
要約:
【課題】 フォトマスクを用いることなく、走査方向と垂直方向の凹凸(ギザギザ)の発生を防止でき、ムラがなく、高精細に形成可能であるパターン形成方法、及びカラーフィルタ、並びに液晶表示装置の提供。【解決手段】 バインダー、重合性化合物、光重合開始剤、及び顔料粒子を含有する感光性組成物からなる感光層に対し、光照射手段、及び前記光照射手段からの光を受光し出射するn個の2次元状に配列された描素部を有し、パターン情報に応じて前記描素部を制御可能な光変調手段を備えた露光ヘッドであって、該露光ヘッドの走査方向に対し、前記描素部の列方向が所定の設定傾斜角度θをなすように配置された露光ヘッドを用い、該露光ヘッドを走査方向に相対的に移動させて、感光層を露光する露光工程と、前記露光工程により露光された感光層を現像する現像工程とを含み、現像工程において、前記感光層をpH8〜13の現像液に浸漬したとき、該感光層の未露光部の初期表面が3秒間以上残存するパターン形成方法である。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
少なくともバインダー、重合性化合物、光重合開始剤、及び顔料粒子を含有する感光性組成物からなり、基材の表面に位置する感光層に対し、
光照射手段、及び該光照射手段からの光を受光し出射するn個(ただし、nは2以上の自然数)の2次元状に配列された描素部を有し、パターン情報に応じて前記描素部を制御可能な光変調手段を備えた露光ヘッドであって、該露光ヘッドの走査方向に対し、前記描素部の列方向が所定の設定傾斜角度θをなすように配置された露光ヘッドを用い、該露光ヘッドを走査方向に相対的に移動させて、前記感光層を露光する露光工程と、
前記露光工程により露光された前記感光層を現像する現像工程と、を含んでなり、
前記現像工程において、前記感光層をpH8〜13の現像液に浸漬したときの該感光層の未露光部の初期表面の残存時間が、3秒間以上であることを特徴とするパターン形成方法。
IPC (5件):
G03F 7/30
, G03F 7/20
, G03F 7/32
, G03F 7/004
, G02B 5/20
FI (5件):
G03F7/30
, G03F7/20
, G03F7/32
, G03F7/004 505
, G02B5/20
Fターム (35件):
2H025AB13
, 2H025AC08
, 2H025AD01
, 2H025BC32
, 2H025BC42
, 2H025BC51
, 2H025CA01
, 2H025CA14
, 2H025CA18
, 2H025CA28
, 2H025CA31
, 2H025CA35
, 2H025CA48
, 2H025CB52
, 2H025CC12
, 2H025FA17
, 2H048BA43
, 2H048BA45
, 2H048BA47
, 2H048BA48
, 2H048BB02
, 2H048BB37
, 2H048BB42
, 2H096AA28
, 2H096BA05
, 2H096BA20
, 2H096EA04
, 2H096GA08
, 2H096GA13
, 2H096LA19
, 2H097AA03
, 2H097BA10
, 2H097JA03
, 2H097LA11
, 2H097LA17
引用特許:
前のページに戻る