特許

J-GLOBAL ID：200903073505715376

塗布装置

発明者： 栗原 敏行 ,  富沢 喜男 ,  長尾 和浩 ,  本間 裕
出願人/特許権者： 三洋電機株式会社
代理人 (1件)： 西野 卓嗣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-228607
公開番号（公開出願番号）：特開平6-071215
出願日： 1992年08月27日
公開日（公表日）： 1994年03月15日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、各種塗布条件に応じて適正な塗布量の塗布剤を供給することを目的とする。【構成】 計算装置によりRAM(28)に記憶されている塗布時間データ及び補正塗布時間データを基に塗布動作時間が計算される。この計算装置により計算された塗布動作時間に基づいて、CPU(30)は塗布動作を行う。

請求項（抜粋）：

プリント基板上にノズルを介してシリンジ内の塗布剤を塗布する塗布装置に於いて、前記ノズルによる塗布動作時間データを記憶する第1の記憶装置と、補正塗布時間データを記憶する第2の記憶装置と、前記両記憶装置に記憶されたデータを基に塗布動作時間を計算する計算装置と、該計算装置により計算された塗布動作時間に基づき塗布動作させる制御装置とを設けたことを特徴とする塗布装置。

IPC (2件)：

B05C 5/00 101 ,  H01L 21/52

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-082685
  
• 特開平2-068989
  
• 特開昭63-097259
  
• 特開昭62-279864