特許
J-GLOBAL ID：200903073506833003
アーク抑圧装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 弘男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-235443
公開番号（公開出願番号）：特開平6-132095
出願日： 1992年08月11日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【目的】 本発明の目的は、プラズマ通路(5、7、8)に電圧(11)を印加するようなプラズマ内のアークを抑圧する回路構成を提供することである。【構成】 プラズマ通路(5、7、8)の電圧の瞬時値と、所与の時間にわたって決定された電圧の平均値とを比較する。もし瞬時値と平均値との差が所与の量を超えれば、プラズマ通路(5、7、8)を電圧(11)から切り離す。
請求項（抜粋）：
プラズマ通路に電圧源が接続されているプラズマ内のアークを抑圧するための回路構成であって、プラズマ通路の電圧の瞬時値と、所与の時間にわたって決定される平均プラズマ電圧に対応する電圧値とを比較し、もしプラズマ電圧の瞬時値と平均プラズマ電圧との差が所与の値を超えれば、プラズマ通路を電圧源から切り離すことを特徴とする回路構成。
IPC (2件)：
前のページに戻る
