特許
J-GLOBAL ID：200903073507949439
位置合せデータ算出方法および位置合せデータ算出装置、位置合せ方法および位置合せ装置と、露光方法および露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-299197
公開番号（公開出願番号）：特開2008-117909
出願日： 2006年11月02日
公開日（公表日）： 2008年05月22日
要約：
【課題】基板に形成された複数のマークから位置合せデータを算出する位置合せデータ算出方法を提供する。【解決手段】第1の物体上に形成された複数のマーク位置をそれぞれ検出し、検出された複数のマーク位置データから位置合せデータを算出する。前記複数のマークは、前記第1の物体上の同一面にそれぞれ異なるショットにより形成されたマーク、または前記第1の物体上に積層されている互いに異なるレイヤ上にそれぞれ設けられたマークである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1の物体に形成された複数のマークの位置をそれぞれ検出し、検出された複数のマーク位置データにそれぞれ異なる重み付けをして、前記第1の物体に対して第2の物体を所定の関係に位置合せするための位置合せデータを算出することを特徴とする位置合せデータ算出方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 525W
, G03F7/20 521
