特許

J-GLOBAL ID：200903073510779200

磁気記録媒体の製造装置

発明者： 中田 純司
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-119289
公開番号（公開出願番号）：特開2000-311339
出願日： 1999年04月27日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：

【要約】【課題】 磁気記録媒体の製造装置において、磁性材料の加熱初期の段階であってもルツボ等の蒸発源組体にクラックや割れが生じることをなくす。【解決手段】 蒸発源組体11を構成する耐火物ルツボ11aと高周波誘導加熱コイル12との間に被誘導加熱材料11bを設ける。耐火物ルツボ11aの熱膨張係数αcと被誘導加熱部材11bの熱膨張係数αiとの関係をαc>αiとする。高周波誘導加熱コイル12による加熱の際、ルツボ11a内の磁性材料10とともに被誘導加熱材料11bも加熱され、これによりルツボ11aは内側外側の双方から加熱され、熱膨張の差異によるクラック、割れの発生を防止することができる。さらにルツボ11aの方が被誘導加熱部材11bより大きく膨張するためルツボ11aの温度が高温となり熱膨張によって内外径が変化しても、ルツボ11aと被誘導加熱部材11bとの隙間を小さくする方向に内外径が変化して隙間がなくなりルツボ11aは被誘導加熱部材11bによってその周囲を保護されるため、機械的強度が向上し、熱膨張による割れの発生を防止することができる。

請求項（抜粋）：

真空雰囲気中で所定の経路に沿って長尺の基板を搬送する搬送手段と、該所定の経路の下方に配設された磁性材料の蒸発源と、該蒸発源の外側にあって該蒸発源を取り囲む高周波誘導加熱により加熱して前記磁性材料を蒸発せしめる高周波誘導加熱手段とを備え、前記基板を搬送しつつ前記基板に前記蒸気流を蒸着せしめることにより該基板上に磁性薄膜を形成せしめる磁気記録媒体の製造装置において、前記蒸発源と前記高周波誘導加熱手段との間に該蒸発源を取り囲む被誘導加熱部材を設け、該蒸発源の熱膨張係数αcと前記被誘導加熱部材の熱膨張係数αiとがαc>αiの関係にあることを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。

IPC (3件)：

G11B 5/85 ,  H01F 41/14 ,  H01F 41/20

FI (3件)：

G11B 5/85 A ,  H01F 41/14 ,  H01F 41/20

Fターム (7件)：

5D112FA02 ,  5D112FB12 ,  5D112FB21 ,  5D112FB23 ,  5E049AA04 ,  5E049BA06 ,  5E049HC01