特許
J-GLOBAL ID:200903073522979816

バルク供給装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 三好 秀和 (外8名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-107790
公開番号(公開出願番号):特開平9-292097
出願日: 1996年04月26日
公開日(公表日): 1997年11月11日
要約:
【要約】【課題】 バルク容器本体にガス供給設備ユニットを直接取り付けることにより該ユニットの支柱を不要とし、小さい設置スペースで設置可能なバルク供給装置を提供すること。【解決手段】 バルク容器本体2の上部または一端部に、各種弁、配管、各種計器等からなるガス供給設備ユニット8を直接取り付け、このガス供給設備ユニット8をプロテクタ3で覆うように構成する。
請求項(抜粋):
バルク容器本体と、該バルク容器本体に取り付けられたガス供給設備ユニットと、該ガス供給設備ユニットを覆うプロテクタと、を備えたことを特徴とするバルク供給装置。
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 密閉容器
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-111984   出願人:日本ゼオン株式会社

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