特許

J-GLOBAL ID：200903073523305495

ダイヤモンド素子

発明者： 勝又 聡 ,  明田川 正敏
出願人/特許権者： 出光石油化学株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 喜平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-262886
公開番号（公開出願番号）：特開平6-087682
出願日： 1992年09月04日
公開日（公表日）： 1994年03月29日
要約：

【要約】【目的】 接合金属層の酸化を防止でき、特性が安定なダイヤモンド素子を得る。【構成】 基板1上のダイヤモンド層2に、イットリウム,スカンジウム,ランタン,マグネシウム,ハフニウムのいずれか、又はこれらの合金からなる仕事関数が3eVから4eV程度の金属層3をショツトキー接合した。

請求項（抜粋）：

ダイヤモンド層と、仕事関数が3eVから4eV程度の金属層を接合して構成したことを特徴とするダイヤモンド素子。

IPC (3件)：

C04B 41/88 ,  C23C 14/18 ,  H01L 21/20

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-067527
  
• 特開平3-101091
  
• 特開平4-233194