特許
J-GLOBAL ID：200903073525908073
圧電応用素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鎌田 久男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-136861
公開番号（公開出願番号）：特開平9-321364
出願日： 1996年05月30日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：
【要約】【課題】 従来の薄膜形成技術により薄膜状に圧電体層を弾性体上に形成しようとすると、圧電体層が圧電性を有する温度に加熱するために、弾性体が酸化し、所望の圧電性が得られない。【解決手段】 溶射により圧電体層5が表面に形成された弾性体3を備える超音波アクチュエータ(圧電応用素子)であって、弾性体3が、高融点であって酸化し難い金属,高融点の貴金属又はこれらの合金により構成される。
請求項（抜粋）：
溶射により電気機械変換素子が表面に形成された弾性体を備える圧電応用素子であって、前記弾性体は、高融点であって酸化し難い金属,高融点の貴金属又はこれらの合金からなることを特徴とする圧電応用素子。
IPC (3件)：
H01L 41/22
, H01L 41/09
, H02N 2/00
H01L 41/22 Z
, H02N 2/00 C
, H01L 41/08 C
