特許
J-GLOBAL ID：200903073526571927
光学的間隙測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-307950
公開番号（公開出願番号）：特開平5-141926
出願日： 1991年11月22日
公開日（公表日）： 1993年06月08日
要約：
【要約】【目的】 平行に置かれたマスクとウェハとの間の数μmのギャップを精密に測定する。【構成】 CCD15は、マスクおよびウェハからの反射光の干渉パターンを電気信号に変換する。周期検出信号演算部42は、干渉パターン信号から周期検出信号を生成する。周期検出信号整形部44は、周期検出信号に含まれる、E=dkで示される誤差成分信号Eを周期検出信号から減算する。ギャップ演算部43は、誤差成分の除去された周期検出信号について放物線近似を行い、求められた干渉パターン周期からギャップを算出する。
請求項（抜粋）：
互いに平行である2平面に可干渉光を照射し、前記2平面からの反射光が相互に干渉することにより生ずる光の強度分布を、光電変換素子によって電気信号に変換して干渉パターン信号を生成し、前記干渉パターン信号のi位置の信号値X(i)とi+k位置の信号値X(i+k)とを用いてN(k)=Σ{X(i+k)ーX(i)}2 で示される周期検出信号N(k)を求め、前記周期検出信号から前記干渉パターン信号の周期を算出することにより前記2平面間の間隙を測定する間隙測定装置において、前記周期検出信号から誤差成分信号Eを減算する周期検出信号整形部を設けたことを特徴とする光学的間隙測定装置。
IPC (2件)：
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