特許
J-GLOBAL ID：200903073531949610
光干渉計およびそれを用いた干渉計測方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平田 忠雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-003751
公開番号（公開出願番号）：特開平8-193805
出願日： 1995年01月13日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：
【要約】【目的】 非球面および形状精度の低い被測定物を高精度で計測できる光干渉計およびそれを用いた干渉計測方法を提供することにある。【構成】 レーザ光源1から被測定物5に至る光路上に可変鏡9と、可変鏡9の変形量分布を検出する波面形状検出器10を設け、可変鏡9で波面を変形させたレーザ光を波面変換レンズ24を介して被測定物5の被測定面5aに照射し、被測定面5aで反射された被測定波面をレーザ光源1と可変鏡9との間の光路上に設けられた半透鏡6で反射するとともにレーザ光源1から照射され、基準平面23で反射されたレーザ光と合成し、レンズ7によって光強度検出器13に干渉縞の像を結像させる。光強度検出器13は干渉縞の像に基づく光強度信号を干渉縞解析装置14に出力し、干渉縞解析装置14は光強度検出器13の検出信号および波面形状検出器10で得られた可変鏡9の変形量分布から被測定面5aの表面形状を計測する。
請求項（抜粋）：
光源から光学系を介して被測定物の被測定面に光を照射することにより得られる被測定波面と前記光学系で得られる基準波面との干渉縞を検出し、前記干渉縞に基づいて前記被測定波面の形状を計測する光干渉計において、前記被測定波面または前記基準波面を生成する光学系の光路中に設けられ、前記被測定波面または前記基準波面の形状を所定の形状に変形させて両波面の形状をほぼ同じにする波面形状変形素子を有することを特徴とする光干渉計。
IPC (2件)：
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