特許

J-GLOBAL ID：200903073532518515

脱気水生成装置

発明者： 高山 仁史 ,  伊藤 正則 ,  取違 哲也
出願人/特許権者： 三菱レイヨン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-322690
公開番号（公開出願番号）：特開平7-171555
出願日： 1993年12月21日
公開日（公表日）： 1995年07月11日
要約：

【要約】本発明は、洗浄水流量を水圧に拘らず一定に保つ定流量弁、洗浄液中の溶存ガスを脱気する疎水膜からなる脱気モジュール、洗浄水流量を監視する流量センサ、脱気モジュールに接続し洗浄液中の溶存ガスを脱気する真空ポンプ、流量センサからの出力信号の監視、真空ポンプの入切を含む真空能力制御、脱気モジュール内ドレイン抜き、脱気水生成装置の運転状況の表示をはじめとする制御、表示を行う電子制御及び表示回路、電子制御及び表示回路に電源供給を行う電源回路、脱気モジュール内ドレインを排出するためのドレイン抜き用電磁弁並びにドレイン液貯めからなり、洗浄水の循環経路を設けることなく脱気水を生成することを特徴とする脱気水生成装置に関する。

請求項（抜粋）：

超音波洗浄装置に接続し、洗浄水の脱気に供する脱気水生成装置に於て、洗浄水流量を水圧に拘らず一定に保つ定流量弁、洗浄液中の溶存ガスを脱気する疎水膜からなる脱気モジュール、洗浄水流量を監視する流量センサ、脱気モジュールに接続し洗浄液中の溶存ガスを脱気する真空ポンプ、流量センサからの出力信号の監視、真空ポンプの入切を含む真空能力制御、脱気モジュール内ドレイン抜き、脱気水生成装置の運転状況の表示をはじめとする制御、表示を行う電子制御及び表示回路、電子制御及び表示回路に電源供給を行う電源回路、脱気モジュール内ドレインを排出するためのドレイン抜き用電磁弁並びにドレイン液貯めからなり、洗浄水の循環経路を設けることなく脱気水を生成することを特徴とする脱気水生成装置。

IPC (3件)：

C02F 1/20 ,  B01D 19/00 ,  B01D 19/00 101