特許

J-GLOBAL ID：200903073533561368

透明基板、透明基板の作製方法、及び基板作製装置

発明者： 名田 直司 ,  沖田 裕之 ,  小林 正人
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 大澤 斌 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-031843
公開番号（公開出願番号）：特開2002-234103
出願日： 2001年02月08日
公開日（公表日）： 2002年08月20日
要約：

【要約】【課題】 酸素及び水分に対するバリア性が高く、しかも軽量で経済的な透明基板を提供する。【解決手段】 本透明基板100は、無機膜として反応スパッタリング法により成膜した膜厚60nmの3層の窒化シリコン膜104、108、及び112と、有機膜として抵抗加熱式真空蒸着法により成膜され、窒化シリコン膜の間に介在する膜厚100nmの2層のシクロオレフィンポリマー膜106、及び110との積層膜をバリア層114として厚さ0.7mmのポリカーボネート板からなる基板本体102上に備えている。

請求項（抜粋）：

透明プラスチックフィルム又は透明プラスチック板からなる基板本体と、基板本体の基板面の少なくとも一方の面に設けられ、酸素及び水分の少なくとも一方に対するバリア性を有し、かつ可視領域の光に対して透明な無機膜と有機膜とを交互に少なくとも1層ずつ接着剤層を介在させることなく非塗布式成膜法により積層した無機膜/有機膜の積層膜からなるバリア層とを備えることを特徴とする透明基板。

IPC (5件)：

B32B 9/00 ,  B32B 7/02 103 ,  C23C 14/06 ,  G02B 1/10 ,  G02F 1/1333 500

FI (5件)：

B32B 9/00 A ,  B32B 7/02 103 ,  C23C 14/06 Q ,  G02F 1/1333 500 ,  G02B 1/10 Z

Fターム (60件)：

2H090HB03X ,  2H090HB07X ,  2H090JB02 ,  2H090JD11 ,  2H090JD12 ,  2K009BB11 ,  2K009BB24 ,  2K009CC02 ,  2K009CC03 ,  2K009CC21 ,  2K009CC22 ,  2K009CC26 ,  2K009DD03 ,  2K009DD04 ,  2K009DD09 ,  2K009EE00 ,  4F100AA01B ,  4F100AA21 ,  4F100AD05 ,  4F100AK01A ,  4F100AK01C ,  4F100AK02 ,  4F100AT00A ,  4F100AT00C ,  4F100BA03 ,  4F100BA04 ,  4F100BA05 ,  4F100BA07 ,  4F100BA08 ,  4F100BA08B ,  4F100BA08C ,  4F100BA10A ,  4F100BA10B ,  4F100BA10C ,  4F100EH66B ,  4F100EH66C ,  4F100GB41 ,  4F100JD03 ,  4F100JD03B ,  4F100JD03C ,  4F100JD04 ,  4F100JD04B ,  4F100JD04C ,  4F100JN01A ,  4F100JN01B ,  4F100JN01C ,  4K029AA11 ,  4K029AA24 ,  4K029AA25 ,  4K029BA58 ,  4K029BA62 ,  4K029BB02 ,  4K029BC08 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029CA06 ,  4K029DB06 ,  4K029DB10 ,  4K029JA10 ,  4K029KA03

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ガスバリア性積層体及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-179928   出願人：凸版印刷株式会社
• 有機デバイスのパッシベーション
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-321079   出願人：モトローラ・インコーポレイテッド
• 積層体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-046551   出願人：松下電器産業株式会社