特許
J-GLOBAL ID：200903073539458020

マイクロミラーデバイス及びそのアレイ

発明者：
チャンギョン ジ

チャンギョン ジ について


出願人/特許権者：
エルジー エレクトロニクス インコーポレイテッド

エルジー エレクトロニクス インコーポレイテッド について


代理人 (2件)： 山田 行一 ,  野田 雅一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-226820
公開番号（公開出願番号）：特開2007-065649
出願日： 2006年08月23日
公開日（公表日）： 2007年03月15日
要約：
【課題】マイクロミラーデバイス及びそのアレイを提供する。【解決手段】ミラー板51と離隔した位置に外部フレーム52を形成することにより、ミラー板51の動的変形を低減することができてミラー板51を通じて反射される反射光の劣化を防止することができ、ミラー板51の扁平度を維持することができる。また、ミラー板51の薄膜を保持するフレームの構造をミラー板51の中心軸から遠ざかることに伴って薄厚化することにより、ミラー板51の動的変形を著しく低減することができ、素子の軽量化が図れる。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
ミラー板と、 前記ミラー板の外郭から離隔して置かれた外部フレームと、 前記ミラー板と前記外部フレームとを連結する複数個の連結部と、 前記ミラー板を基準にして対称に形成され、前記外部フレームと一対の保持部に連結され前記ミラー板と外部フレームを下部から浮上させる一対の弾性屈伸構造物と から構成されるマイクロミラーデバイス。
IPC (4件)：
G02B 26/10 ,  G02B 26/08 ,  B41J 2/44 ,  H04N 1/036
FI (4件)：
G02B26/10 104Z ,  G02B26/08 E ,  B41J3/00 D ,  H04N1/036 Z
Fターム (20件)：
2C362BA17 ,  2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB06 ,  2H045AB10 ,  2H045AB16 ,  2H045AB62 ,  2H045AB73 ,  5C051AA02 ,  5C051CA07 ,  5C051DB02 ,  5C051DB24 ,  5C051DB30 ,  5C051DC04 ,  5C051DC05 ,  5C051DC07 ,  5C051DE09
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (9件)
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