特許
J-GLOBAL ID：200903073542133905
積層型圧電アクチュエータ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
深見 久郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-090962
公開番号（公開出願番号）：特開2001-284667
出願日： 2000年03月29日
公開日（公表日）： 2001年10月12日
要約：
【要約】【課題】 内部電極の劣化を防ぐことができ、寿命の長い積層型圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】 圧電材料と内部電極とを交互に積層させてなる積層型圧電アクチュエータを作製するときに、まず圧電材料105上に内部電極101a,103aを形成する。このとき、内部電極の1つの面積を圧電材料の1つの層の面積より小さくすることで、内部電極の外部電極に接続されない部分が、積層型圧電アクチュエータの側面Aに露出しないようにする。これにより、内部電極が外気に接することを防止することができ、内部電極の劣化を防ぐことができる。また、アクチュエータの変位方向と直交する面は、ショアー硬度D20以上の樹脂で覆われる。
請求項（抜粋）：
圧電材料と内部電極とを交互に積層させてなる、横方向の振動モードを利用した積層型圧電アクチュエータであって、前記内部電極の1つの面積を前記圧電材料の1つの層の面積より小さくすることで、前記内部電極の外部電極に接続されない部分が積層型圧電アクチュエータの側面に露出しないように構成されており、前記内部電極の外部電極に接続されない部分は、積層型圧電アクチュエータの側面より少なくとも0.1mm離れており、変位方向と直交する面がショアー硬度D20以上の樹脂で覆われていることを特徴とする、積層型圧電アクチュエータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H02N 2/00 B
, H01L 41/08 S
