特許
J-GLOBAL ID：200903073549327063
電子増倍管
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-104668
公開番号（公開出願番号）：特開平6-314550
出願日： 1993年04月30日
公開日（公表日）： 1994年11月08日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、光電面の位置に対する均一な感度、および入射光のエネルギーに比例した出力パルスが得られる電子増倍管を提供する。【構成】 電子増倍部6は、正方形の平板状に形成したダイノード7をN段に積層して構成されている。各段のダイノード7は、導電性の表面を有するプレートに複数個の電子増倍孔を所定のピッチでマトリックス状に配列している。アノード9は、第N段ダイノード8の電子増倍孔から出射された二次電子が到達する位置に、プレートに複数の電子通過孔を第N段ダイノード8の電子増倍孔とほぼ同一のピッチでマトリクス状に配列している。各電子通過孔は、プレートの下面側を部分的に欠いて、第N+1段ダイノード10から放出された二次電子に対する捕獲面積を拡張されている。第N+1段ダイノード10は、アノード9の電子通過孔から出射された二次電子が到達する複数の位置の間に、プレートに複数の貫通孔を第N段ダイノード8の電子増倍孔とほぼ同一のピッチでマトリックス状に配列している。
請求項（抜粋）：
入射された電子を増倍する複数個の電子増倍孔が配列されたダイノードを複数段に積層して形成された電子増倍部と、この電子増倍部の下方に前記ダイノードに平行に配置され、該電子増倍部から出射された前記電子を通過させる複数個の電子通過孔が前記電子増倍孔と同一ピッチで配列されたアノードと、このアノードの下方に前記ダイノードに平行に配置され、該アノードを透過した前記電子を反転させて該アノードに捕獲させる反転型ダイノードとを備える電子増倍管において、前記アノードは、前記電子増倍部から出射された前記電子が到達する位置に前記電子通過孔を配列していると共に、前記反転型ダイノードは、前記電子通過孔を通過した前記電子が到達する複数の位置の間に貫通孔を前記電子増倍孔と同一ピッチで配列していることを特徴とする電子増倍管。
IPC (2件)：
引用特許：
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