特許

J-GLOBAL ID：200903073550580341

磁気軸受式ターボ分子ポンプ

発明者： 小崎 純一郎
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-176905
公開番号（公開出願番号）：特開2001-003890
出願日： 1999年06月23日
公開日（公表日）： 2001年01月09日
要約：

【要約】【課題】 背圧の上昇に伴う保護軸受内輪の連れ回りを低減することができる磁気軸受式ターボ分子ポンプの提供。【解決手段】 磁気軸受23A〜23Cによる正常な支持が行われない非常時に、ロータ1を支持する保護軸受27,28を有する磁気軸受式ターボ分子ポンプにおいて、保護軸受27側から排気口4側への排気作用を有するネジ溝61を設けた。これにより、保護軸受27部分のガス圧が従来より低くなり、ガスの粘性による保護軸受27の内輪の連れ回りが発生し難くなる。その結果、ポンプの使用可能吸気口圧をより高く設定することができる。

請求項（抜粋）：

固定型排気部材を有するステータと、回転型排気部材を有するロータと、前記ロータを回転駆動するモータと、前記ステータに対して前記ロータを非接触支持する磁気軸受と、前記磁気軸受による正常な支持が行われない非常時に前記ロータを支持する保護軸受とを備え、前記固定型排気部材に対して高速回転する前記回転型排気部材により吸気口から排気口へガスを排気する磁気軸受式ターボ分子ポンプにおいて、前記ロータとステータとの相対回転により、前記保護軸受側から前記排気口側へ排気する排気手段を設けたことを特徴とする磁気軸受式ターボ分子ポンプ。

Fターム (10件)：

3H031EA00 ,  3H031EA05 ,  3H031FA01 ,  3H031FA04 ,  3H031FA11 ,  3H031FA13 ,  3H031FA31 ,  3H031FA32 ,  3H031FA33 ,  3H031FA36