特許
J-GLOBAL ID：200903073553206815
ウェハ貼着用粘着シート
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-203129
公開番号（公開出願番号）：特開平11-043656
出願日： 1997年07月29日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：
【要約】【課題】 電子線照射等の工程を経ることなく、コスト的に有利で、かつダイシング時に発生する糸状の切削屑の発生を低減できるようなウェハ貼着用粘着シートを提供すること。【解決手段】 基材構成層として、無延伸ポリプロピレン層を採用し、該無延伸ポリプロピレン層上に粘着剤層を形成したウェハ貼着用粘着シートを用いてウェハダイシングを行う。
請求項（抜粋）：
基材と、その上に形成された粘着剤層とからなるウェハ貼着用粘着シートにおいて、該基材が、少なくとも無延伸ポリプロピレン層を有し、該無延伸ポリプロピレン層上に粘着剤層が形成されてなることを特徴とするウェハ貼着用粘着シート。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C09J 7/02 Z
, H01L 21/78 M
