特許
J-GLOBAL ID：200903073553235920
探針走査型顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-124544
公開番号（公開出願番号）：特開平5-322552
出願日： 1992年05月18日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 各測定点において、フォースカーブを測定し、吸着力を記憶,画像化することにより、吸着力分布を測定できる探針走査型顕微鏡を実現する。【構成】 探針1を試料2に対して微少距離まで近づけ、探針と試料の間に作用する引力などの物理量を検出し、探針または試料を走査させることにより、試料の表面形状や表面の物性などを測定するようにした探針走査型顕微鏡3において、前記探針1と試料1の間に作用する引力の最大値を検出するピーク検出装置11と、前記探針1または試料1を走査させるx-y方向の走査信号および前記ピーク検出装置11の出力から吸着力分布を測定・画像化する吸着力画像記憶装置12とを備え、各測定点にてフォースカーブを測定し、吸着力を記憶・画像化することにより、吸着力分布を測定できるようにしたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
探針を試料に対して微少距離まで近づけ、探針と試料の間に作用する引力などの物理量を検出し、探針または試料を走査させることにより、試料の表面形状や表面の物性などを測定するようにした探針走査型顕微鏡において、前記探針と試料の間に作用する引力の最大値を検出するピーク検出装置と、前記探針または試料を走査させるx-y方向の走査信号および前記ピーク検出装置の出力から吸着力分布を測定・画像化する吸着力画像記憶装置とを備え、各測定点にてフォースカーブを測定し、吸着力を記憶・画像化することにより、吸着力分布を測定できるようにしたことを特徴とする探針走査型顕微鏡。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, G01N 13/00
, H01J 37/28
