特許

J-GLOBAL ID：200903073553658694

加速度センサ

発明者： 森 雅友 ,  納谷 六郎 ,  鈴木 章悟
出願人/特許権者： 曙ブレーキ工業株式会社 ,  日本インター株式会社
代理人 (1件)： 長瀬 成城
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-304621
公開番号（公開出願番号）：特開平8-160066
出願日： 1994年12月08日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：

【要約】【目的】片持梁式加速度センサにおいて、加速度センサの錘の重心位置と、片持梁による支持点とを同軸上に配置できる片持梁式加速度センサを提案する。【構成】シリコン基板を加工して、固定部と、加速度によって移動する錘と、前記固定部と錘とを接続する梁部と、前記梁部に配置した抵抗素子とよりなる片持梁式加速度センサであって、前記梁部は、シリコン基板の厚みと直交する方向では錘よりも細く、かつ、シリコン基板の厚み方向では、錘の厚さと同じ厚さとなるように形成されている。

請求項（抜粋）：

シリコン基板を加工して、固定部と、加速度によって移動する錘と、前記固定部と錘とを接続する梁部と、前記梁部に配置した抵抗素子とよりなる片持梁式加速度センサであって、前記梁部は、シリコン基板の厚みと直交する方向では錘よりも細く、かつ、シリコン基板の厚み方向では、錘の厚さと同じ厚さとなるように形成されていることを特徴とする加速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/02 ,  G01P 15/12