特許
J-GLOBAL ID：200903073553745449
レーザーアブレーション装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-173905
公開番号（公開出願番号）：特開平8-035932
出願日： 1994年07月26日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：
【要約】【目的】 ガラス窓や壁へ試料が付着するのを防止することができるレーザーアブレーション装置を提供する。【構成】 アブレーション装置本体10はステム11によって支持されている。本体10内には円筒を横にした形の試料室12が形成されており、底部に試料導入口13が設けられ、上部にレーザー光Lを導入して試料に照射するための窓18が設けられている。この試料導入口13を介して、ホルダ14に保持された試料15が試料室内へ挿入される。試料室12の内周面には、キャリアガスを導入するための導入口16が設けられており、この導入口16から円筒の周方向にキャリアガスが噴出される。17はキャリアガスを軸方向に取り出すため端部側面に設けられたキャリアガス排出口である。
請求項（抜粋）：
筒状試料室と、該試料室内に配置される試料に照射するレーザー光を透過させるため試料室周壁に設けられる窓と、試料室内に周壁に沿った周方向のキャリアガスの流れを形成するためのキャリアガス導入手段と、前記試料室の軸方向にキャリアガスを取り出すためのキャリアガス排出口とを備えたことを特徴とするレーザーアブレーション装置。
IPC (3件)：
G01N 21/73
, G01N 21/15
, H01J 49/04
