走査ユニット

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-075854
公開番号（公開出願番号）：特開平6-289305
出願日： 1993年04月01日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：

【要約】【目的】簡単な構成で高精度且つ高速に走査中心位置の移動制御が可能な走査ユニットを提供する。【構成】光源11から出射されたレーザービームを所定方向に所定量だけ偏向可能なミラー13と、このミラーを支持する共振型ガルバノスキャナ15とを備えており、共振型ガルバノスキャナは、アダプタ17を介して超音波モータ19に接続されている。共振型ガルバノスキャナに接続された駆動回路25から出力された駆動信号に基づいて、共振型ガルバノスキャナ15は、ミラー13を所定方向に所定角度で振動させる。超音波モータに接続された移動制御回路27から出力された移動信号に基づいて、超音波モータは、シャフト21を介して共振型ガルバノスキャナを所定方向に所定角度だけ回動させる。超音波モータには、その回動方向及び回動量を検出可能なエンコーダ23が接続されている。

請求項（抜粋）：

レーザー光を所定方向に所定量、偏向可能に構成された光偏向素子と、この光偏向素子によって偏向されたレーザー光の偏向中心を所定方向に所定量、移動可能に構成された偏向中心可変機構と、この偏向中心可変機構の駆動状態を検出して、前記偏向中心の移動量を制御可能に構成された検出制御機構とを備えていることを特徴とする走査ユニット。

IPC (3件)：

G02B 26/10 , B41J 2/44 , G02B 21/00

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭62-025721
特開昭63-261318
特開平3-065920

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