特許

J-GLOBAL ID：200903073556042368

耐酸化・耐摩耗性被膜付き物品およびその製造方法

発明者： 岡部 信一
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (1件)： 鴨田 朝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-163070
公開番号（公開出願番号）：特開平8-333675
出願日： 1995年06月07日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、イオンプレーティングにより、耐酸化性と耐摩耗性とを合わせ持つ硬質被膜付き物品及びその製造方法を提供することを目的とする。【構成】 鋼系金属材料あるいは超硬合金からなる基材の表面上にAlの割合が20モル%以上70モル%以下のTiAlN膜が形成され、該TiAlN膜は、該基板上にバイアス電圧を印加しながらイオンプレーティングにより成膜した層と、その上にバイアス電圧を印加しないでイオンプレーティングにより成膜した層と、さらに、その上にバイアス電圧を印加しながらイオンプレーティングにより成膜した層との複合層からなることを特徴とする耐酸化・耐摩耗性被膜付き物品。

請求項（抜粋）：

鋼系金属材料あるいは超硬合金からなる基材の表面上にAlの割合が20モル%以上70モル%以下のTiAlN膜が形成され、該TiAlN膜は、バイアス電圧を印加しながらイオンプレーティングにより成膜した層と、バイアス電圧を印加しないでイオンプレーティングにより成膜した層との複合層からなることを特徴とする耐酸化・耐摩耗性被膜付き物品。