特許

J-GLOBAL ID：200903073556606423

露光方法と露光装置

発明者： 渡辺 和也 ,  有賀 隆 ,  堀井 寛飛 ,  鈴木 資和 ,  林 忠博
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 高橋 敬四郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-337539
公開番号（公開出願番号）：特開平7-201702
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：

【要約】【目的】 長期間使用しても性能の劣化が少ない露光方法および露光装置を提供することである。【構成】 光源から発した光をレンズを含む光路上を通過させ、レチクルを通して、露光対象物上に露光する露光方法であって、光路上に存在するレンズの少なくとも1つの面を非酸化性雰囲気に接触させつつ露光を行う。

請求項（抜粋）：

光源から発した光をレンズを含む光路上を通過させ、レチクルを通して、露光対象物上に露光する露光方法であって、光路上に存在するレンズの少なくとも1つの面を非酸化性雰囲気に接触させつつ露光を行う露光方法。露光方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/32 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 516 A ,  H01L 21/30 515 B ,  H01L 21/30 516 F