特許
J-GLOBAL ID:200903073563631948
機能性膜及びその製造方法、並びに、それを用いた光半導体電極、光電変換素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中島 淳 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-292196
公開番号(公開出願番号):特開2003-100359
出願日: 2001年09月25日
公開日(公表日): 2003年04月04日
要約:
【要約】【課題】 機能性膜及びその製造方法を提供し、更に前記機能性膜を用いた光電変換効率の高い光半導体電極と、光電変換素子とを簡便に効率よく提供する。【解決手段】 微粒子と搬送ガスとが混合されたエアロゾルを支持基板表面に吹き付け、前記微粒子を前記支持基板表面に堆積させる堆積工程を含む機能性膜の製造方法であって、前記微粒子が、機能性分子を担持させた無機微粒子であることを特徴とする機能性膜の製造方法、及び、該製造方法により得られた機能性膜、並びに、それを用いた光半導体電極、光電変換素子。
請求項(抜粋):
微粒子と搬送ガスとが混合されたエアロゾルを支持基板表面に吹き付け、前記微粒子を前記支持基板表面に堆積させる堆積工程を含む機能性膜の製造方法であって、前記微粒子が、機能性分子を担持させた無機微粒子であることを特徴とする機能性膜の製造方法。
IPC (2件):
FI (2件):
H01M 14/00 P
, H01L 31/04 Z
Fターム (9件):
5F051AA14
, 5F051CB13
, 5F051FA03
, 5F051FA06
, 5H032AA06
, 5H032AS16
, 5H032EE02
, 5H032EE16
, 5H032HH07
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