特許
J-GLOBAL ID：200903073565394196
赤外線検知素子およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-313568
公開番号（公開出願番号）：特開平8-166285
出願日： 1994年12月16日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、熱分離領域の深さをその開口部の大きさと独立に決定して感度を向上させることを目的とする。【構成】 主平面の面方位が(100)面である半導体基板1に、その主表面からのエッチングにより側壁が5以上の(111)面で構成された熱分離領域5を形成してなることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
主平面の面方位が(100)面である半導体基板と、該半導体基板の主平面からのエッチングにより形成された熱分離領域と、該熱分離領域を含むように前記半導体基板の主平面上に形成されたメンブレンと、該メンブレン上に形成された感温素子とを有する赤外線検知素子において、前記熱分離領域の側壁が5以上の(111)面で構成されていることを特徴とする赤外線検知素子。
IPC (3件)：
G01J 1/02
, G01J 5/02
, H01L 35/32
