特許

J-GLOBAL ID：200903073567569252

物体の表面処理方法

発明者： 世田 博國
出願人/特許権者： 株式会社シンクロン
代理人 (1件)： 臼村 文男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-076857
公開番号（公開出願番号）：特開平5-239243
出願日： 1991年03月15日
公開日（公表日）： 1993年09月17日
要約：

【要約】【構成】 真空槽31内に光学部品などの処理すべき物品25を入れ、真空排気する。必要によりヒータ13で容器11内のフルオロアルキルシラン15および水17を加熱し、バルブ21を開け、配管23から真空槽31内にフルオロアルキルシラン15および水17を蒸発させ、フルオロアルキルシラン15で物品を処理し、物品の表面に撥水性、撥油性などを付与する。【効果】 乾式法により簡単に物品をフルオロアルキルシラン処理でき、作業性や環境安全性が良好である。

請求項（抜粋）：

フルオロアルキルシランを気化せしめ物体の表面に接触せしめて物体を処理し、物体の表面上に被膜を形成することを特徴とする物体の表面処理方法。