特許

J-GLOBAL ID：200903073569349152

光記録媒体用スタンパの製造方法

発明者： 田中 剛 ,  向後 雅則
出願人/特許権者： 東ソー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-180093
公開番号（公開出願番号）：特開2002-373456
出願日： 2001年06月14日
公開日（公表日）： 2002年12月26日
要約：

【要約】【課題】 光記録媒体の基板に形成される凹凸パターンの矩形性を向上させることのできる光記録媒体用スタンパの製造方法を提供する。【解決手段】 レーザー光の露光により所定パターンの潜像が形成されたポジ型フォトレジスト層の表面を低濃度のアルカリ現像液で処理することにより、フォトレジスト層の表面を難溶化した後、さらにアルカリ現像液で現像してパターン形成を行う。

請求項（抜粋）：

原盤上にポジ型のフォトレジスト層を形成する工程と、形成されたフォトレジスト層に、レーザー光により所定のパターンを露光して露光部を形成する工程と、前記フォトレジスト層に形成された露光部をアルカリ現像液により除去して凹凸パターンを形成するパターン形成工程を有する光記録媒体用スタンパの製造方法において、前記フォトレジスト層の露光後、パターン形成工程の前に、パターン形成工程で用いるアルカリ現像液よりも低濃度のアルカリ現像液で前記フォトレジスト層の表面を処理することを特徴とする光記録媒体用スタンパの製造方法。

IPC (2件)：

G11B 7/26 501 ,  G11B 7/26 511

FI (2件)：

G11B 7/26 501 ,  G11B 7/26 511

Fターム (4件)：

5D121BB01 ,  5D121BB29 ,  5D121BB31 ,  5D121GG16