プラズマイオンシャワー機能を内蔵した走査電子顕微鏡, 及びその類似装置。

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-235319
公開番号（公開出願番号）：特開平11-054078
出願日： 1997年07月29日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：

【要約】【課題】試料表面に金属膜や炭素膜等の導体膜を形成することなく,SEM観察やX線分析に試料を供するに際して,試料表面の帯電防止処理を試料予備排気室内で行う。【解決手段】試料予備排気室7内にターゲット電極13を試料sと対向するように設け,予備排気室7の真空度をプラズマ放電に適した圧力に保持する手段を採り,ターゲット電極13を負に,予備排気室7の機壁を正に直流電圧を印加してプラズマ放電を発生させ,発生した陽イオンをターゲット電極13の表面で反射させて,試料s表面にシャワー状に照射し,試料に+イオンを浸透させて観察中の帯電を防止する。

請求項（抜粋）：

試料予備排気室を具備した走査電子顕微鏡に於て,予備排気室内にプラズマイオンシャワー機能を備え,試料の予備排気過程に試料に+イオン照射を行うことにより,試料表面に金属や炭素の被着を行うことなく走査電子鏡像の観察,あるいは,微小部X線分析等を可能にした査電子顕微鏡,及び,その類似装置。

IPC (5件)：

H01J 37/20 , G01N 1/28 , G01N 23/225 , H01J 37/28 , H01J 37/305

FI (8件)：

H01J 37/20 B , H01J 37/20 F , H01J 37/20 H , G01N 23/225 , H01J 37/28 B , H01J 37/305 Z , G01N 1/28 W , G01N 1/28 G

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