特許
J-GLOBAL ID：200903073574282414
混合物の材料比を判定するセンサおよび方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本城 雅則 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-298866
公開番号（公開出願番号）：特開平9-133641
出願日： 1995年10月24日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：
【要約】【課題】 計測される材料をセンサの導体の間に配置する必要がなく、被計測材料の成分比が可変しても出力信号の変動が40db未満のセンサを提供する。【解決手段】 混合物12内の流体またはその他の材料の比率を計測するセンサ10,40は、共平面共振器を利用する。この共振器は、半導体基板11上にある外部導体または導体面17,41を有する。導体面17,41は、基板の表面の一部分を露出させる開口部18,48を有する。内部導体または検知素子19,42が開口部18,48内の被露出表面上に形成され、導体面17,41と検知素子19,42とが同一平面上にあるようにする。検知素子19,42は、トランジスタ21の入力22に結合され、発振器を形成する。混合物12内の材料比が可変すると、発振器周波数が変化する。
請求項（抜粋）：
混合物内の材料比を判定するセンサであって:第1表面と前記第1表面に平行な第2表面とを有する半導体基板(11);前記第1表面上の導体ストリップ(19)であって、第1端と第2端とを有する前記導体ストリップ;前記第1表面上に形成されたトランジスタ(21)であって、前記導体ストリップの前記第1端に結合された入力(22)を有する前記トランジスタ;および前記第1表面上の導体面(17)であって、開口部(18)を有する前記導体面において前記導体ストリップ(19)および前記トランジスタ(21)が前記開口部内にあり、前記導体ストリップの前記第2端が前記導体面から、直流周波数において電気的に分離される導体面(17);によって構成されることを特徴とするセンサ。
FI (2件)：
G01N 22/00 F
, G01N 22/00 V
