特許

J-GLOBAL ID：200903073576312183

微細粒子測定方法及び微細粒子測定装置

発明者： 秋山 実 ,  越中 昌夫 ,  小坂 宣之 ,  田中 博司
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 早瀬 憲一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-146600
公開番号（公開出願番号）：特開平5-312712
出願日： 1992年05月11日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：

【要約】【目的】液体中、空間中、ウエハ表面上の微細粒子を測定する微細粒子測定方法及び微細粒子測定装置において、外部迷光の影響、検出器自体のノイズを低減する。【構成】移動する微細粒子からの発光または散乱光を測定する方法において、検出領域を2つの近接した領域に設置し、検出領域を微細粒子が通過した際、微細粒子からの散乱光または発光は一定の時間差を持って検出し、検出出力を互いに引算し、微細粒子からの散乱光信号をある一定の形を持った波形として取り出す。【効果】外部迷光は両方の検出領域に同時に入るので、引算することで打ち消され、外部迷光の影響を除去でき、また、検出器自体のノイズ信号も除去され、検出感度が向上する。

請求項（抜粋）：

移動する微細粒子からの発光または散乱光を測定する方法において、微細粒子の移動経路上の近接した異なる2つの位置を検出領域とし、該検出領域から検出した2つの信号を演算し、一定の時間差をもって検出される信号以外の信号を除去するようにしたことを特徴とする微細粒子測定方法。

IPC (5件)：

G01N 15/14 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/85 ,  G01N 21/88 ,  H01L 21/66