特許
J-GLOBAL ID：200903073582436420
プローブカード
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-210303
公開番号（公開出願番号）：特開平8-075786
出願日： 1994年09月05日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：
【要約】【目的】 プローブ針をより直接的に振動させ、振動発生の駆動能率の向上を図り、又、プローブ基板等へ伝播されてしまう振動を低減する。【構成】 プローブ基板部1に取付けられるプローブ針5は、固定部4を介して振動発生部3Aにて、その先端5a が振動される。該先端5a が被検査対象となる半導体集積回路等の基板の電極パッドへ接触する際、このように該先端5a が振動することで、接触するその電極パッド上面に付着してしまっている酸化物等を除去することが可能であり、接触抵抗の低減を図ることが可能である。又、前記プローブ針5は前記振動発生部3Aにてより直接的に振動されているため、振動の駆動能率が良好であり、不必要な振動もない。
請求項（抜粋）：
被検査対象となる被検査基板上の複数の電極パッドの、該被検査基板上での配置位置パターンに対応したその配置位置パターンにて、当該プローブカード上には複数のプローブ針が配置され、前記被検査基板へと当該プローブカードを接近させることで、それぞれの前記電極パッドに対して対応する前記プローブ針を接触させ、これら電極パッド及びプローブ針を経由した信号入出力により、前記被検査基板上の回路を検査するようにしたプローブカードにおいて、前記電極パッドに対して前記プローブ針を接触させる際に、該プローブ針のその配置位置パターンを保持することができる剛性を有するプローブ基板部と、該プローブ基板部と前記プローブ針との間に設けられた、該プローブ針の先端の、前記電極パッドへの少なくとも接触部位を振動させる振動発生手段とを備えたことを特徴とするプローブカード。
IPC (2件)：
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